DE-SPC
统计过程控制系统
概述
DATAEXP-SPC(简称DE-SPC)是监控和改善半导体制造过程的关键工具。通过收集Inline、Defect、WAT等数据，并对参数配置各类图形和规则，帮助客户实时监测生产过程的异常和稳定性。DE-SPC支持多样化数据采集、批量模型配置、多维度报表分析，构造了高效的全闭环品质管理系统。
优势
- 全面的过程控制与分析系统。支持Metrology、Defect、WAT数据，可任意切换数据源进行分析
- 分布式的系统结构。系统优化升级不影响生产，易于用户维护和使用
- 灵活的SPC规则创建。支持用户自定义脚本创建SPC规则
- 丰富的行业数据分析经验。深究SPC与其他Fab数据的关联性，帮助用户提升生产效率和稳定性
- 高效的虚拟量测应用。利用机器学习预测量测数据
- 完整、强大的开发和运维团队，给客户最好的使用体验
主要功能
DC Config
• SPC Rule Definition
• Matching Key Template
• Wafer Map Configuration
• Site Map Configuration
• Parameter Spec Template
• Matching Key Template
• Wafer Map Configuration
• Site Map Configuration
• Parameter Spec Template
Strategy Builder
• Batch Strategy Build
• Virtual Parameter
• Custom Chart
• Rule Criteria
• Alarm Notification
• Hold Action
• Virtual Parameter
• Custom Chart
• Rule Criteria
• Alarm Notification
• Hold Action
Data Analyzer
• Offline Rule Check
• Chart Statistics
• Chart Annotation
• Chart Histogram
• Rule Trigger Summary
• Chart Cpk Summary
• Lot Judgement History
• Chart Statistics
• Chart Annotation
• Chart Histogram
• Rule Trigger Summary
• Chart Cpk Summary
• Lot Judgement History
Alarm Viewer
• Alarm Chart Trend
• Alarm Lot Trend
• Cpk PassRatio Trend
• Summary Auto Report
• Alarm Lot Trend
• Cpk PassRatio Trend
• Summary Auto Report
